６．ＶＯＣＳフリ−超精密圧力調整器

製品名称：精密圧力調製器　 型　式　 １次側圧力 ２次側圧力 流　量 材　質 ＶＯＣｓ用標準ガス YSRH-2503 ２４．５ MPa ０．２９ MPa ２Ｌ／分 SUS-316 ＶＯＣｓ用超高純度ゼロガス 　 YSRH-2503 YSRH-2506 　 ２４．５ MPa ２４．５ MPa 　 ０．２９ MPa ０．５９ MPa 　 ２Ｌ／分 ２Ｌ／分 　 SUS-316 SUS-316

• “クリ−ンメイト処理”により、圧力調整器からの不純物ＶＯＣｓの流出を排除しました。
• “エンファス処理”(特許申請)との相乗効果により、圧力調整器・ガス配管内でのアクリロニトリル等の強吸着性物質の吸着を防止します。
• 出口ジョイント（Ａジョイント）の標準規格は1/8"φとし、予備品として３mmφ品を同封します。
• ２次側圧力：０．５９ＭＰａゲ−ジも用意しました。キャニスタ−洗浄用にご使用下さい。
• ２次側にニ−ドル弁を必要とされる場合は、別途ご相談下さい。
• 上記仕様以外の超精密圧力調整器については、ご相談下さい。
• 圧力調整器は、標準ガス用・内部標準ガス・ゼロガス毎に専用化し、混在して使用しないで下さい。
• 圧力調整器の保管はなるべく無臭室内で行い、各種有機溶剤等に触れないようにして下さい。

次へ　　戻る