５．ＶＯＣＳフリ−ゼロガス
製品名：ゼロガス
純度(%)
グレ−ド
容器仕様
容器弁規格
充填圧力(MPa)
超高純度窒素
99.9999
ZERO-H
47
L､マンガン鋼
22φ､14山OR
14.7
超高純度ヘリウム
99.9999
ZERO-H
不純物仕様
不 純 物
規 格
不 純 物
規 格
塩化ビニル
1,3-ブタジエン
アクリロニトリル
ジクロロメタン
クロロホルム
<100 ppt
< 10 ppt
< 10 ppt
<100 ppt
<100 ppt
1,2-ジクロロエタン
ベンゼン
トリクロロエチレン
テトラクロロエチレン
<100 ppt
<100 ppt
<100 ppt
<100 ppt
新内面洗浄処理
“クリ−ンメイト処理”
を施した新型ダイヤフラム式容器弁の採用により、容器弁内の不純物ＶＯＣｓの流出を排除しました。
ＨＡＰｓでのキャニスタ−洗浄用に適しています。
上記仕様以外のゼロガスについても、ご相談下さい。
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